来源：中国微米纳米技术学会
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在发明了一种更好控制的新型MEMS（微机电系统）之后，研究人员利用该技术开发了可用于多种日常设备的气压传感器。机械工程学副教授夏扎德·“ 雪莉”·图菲宗（ Shahrzad "Sherry" Towfighian）说：“还是用我们以前开发的机制，但应用有所不同。” 图菲宗教授在纽约州立大学宾汉顿分校托马斯·沃森工程与应用科学学院任教。
图菲宗解释：“新型传感器核心有四个电极，而传统传感器有两个电极，所以我们的方案可以更好地调整系统的性能。”
Shahrzad "Sherry" Towfighian副教授
这种MEMS的优势在于其独立式设计，数据直接在MEMS内部读出分析，无需外部计算机处理即可处理读取分析操作，所以响应更快，也更可靠。
图菲宗说：“这种新型MEMS器件不但能测量压力，还能触发开关动作。传统的方法是用传感器测量压力，等软件计算好以后再根据状况决定是否触发开关动作，我们的MEMS中包含了紧凑式压力传感器与开关，只要给四个电极当中的一个通电，就可以让其在不同压力下工作。”
和纽约州立大学宾汉顿分校开发的其他MEMS开关一样，这种新型MEMS开关用途广泛，无论是测量气压、医院早产儿监护，还是胎压监测，都有可能用到。
“在某些应用中，监测压力阈值非常重要，”图菲宗举例说：“比如在飞机上，当气压低到一定程度时，氧气面罩要自动脱落，采用我们的方案，很容易通过设置偏执电压来控制氧气面罩的开关，以实现低气压时自动脱落。”
采用四个电极的目的，是为了延长产品寿命。“现在的MEMS压力传感器通常只有两个电极，这种设计的问题在于产品的寿命很有限，通过增加两个电极，我们可以延长MEMS器件的使用寿命。”
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