超微粒干版是以溴化银为乳剂制成的一种慢速干版，是电子工业中用于光刻制版的一项重要基础材料。
超微粒干版详解起微粒干版集成电路中光刻制版用的感光版的一种。此外还有罗甸干版、快速明胶干版、快速超徵粒干版等。由底板（片）和感光膜组成。底板采用性能稳定、透光率高的玻璃或塑料薄膜。感光膜由硝酸银、卤化物和介质（明胶）三种材料为主配成乳胶液，再加入螺吡喃金醇（增感剂）、三氮吲哚唎嗪（稳定剂0、明矾（坚膜用）等构成。国产的这类干版主要性能为感光度略低于日本千版，反差系数大于7，灰雾密度小于0.005，最大密度大于4，解相力缩微照相法大于50，激光干涉法大于等于3000，清晰度与日本干版同，潜影稳定性好，坚膜性较强，乳胶片与载体结合较牢固，乳剂层厚度4~6μm，版面针孔度小以及版面平整度（10X10cm）好等。制造工艺主要包括：采用双注法的有：乳剂制备、玻璃清洗、涂防光晕层、底层与乳剂层的涂布、干燥、包装整理和检验测定等。主要用用于集成电路生产中光刻制版。1
超微粒干板制作工艺流程（1）清洗玻璃将严格检验的玻璃放入洗液缸中浸泡24小时以上。取出后用碳酸钙或洗洁净擦洗玻璃两面，分别用水洗。然后把玻璃装在插架上，放在烘箱中烘干备用。
（2）溶胶在300~500ml的大烧杯中，称取8g明胶（特级），倒入80~100ml水，将其放在恒温水浴锅中，控制溶液温度为37°C，加加以搅拌，使胶质均匀。
（3）乳化乳化又称卤化是整个超微粒干版制备中最关键工序。乳化常用双注入法。所谓双注入法是将盛有硝酸银溶液和溴化钾溶液的两支滴管，插人明胶溶液中，同时打开滴管的活塞，使两种溶液以每秒钟两滴的速度滴入。
（4）涂布从烘箱中取出温热的玻璃，置于一个平台上（水平面严格平整），用干净的小玻璃棒把溶胶涂布在玻璃上（）一般12ml的乳胶可涂布220×200mm的玻璃）。涂布时一定得按顺时针或逆时针方向，千万不能乱涂，涂布时要使乳胶流匀，以达到平整均匀的目的。
（5）冷冻涂布以后，立刻把玻璃板放在冰箱中（4~8°C），其有两个目的：一是仰制溴化银颗粒继续长大，达到超微粒细颗粒的目的；二是是冷冻成胶，使于切条、水洗以去除硝酸钾。
冷冻温度一定要控制好，如果温度过低，乳胶表面会结霜、发皱；如果温度过高，又达不到冷冻的目的。冷海冻时间不宜过长，否则药膜面会出现细小网纹。一般掌胶液不流动、不粘手就可以。冷冻田时玻璃一定要平放，否则乳胶的流动而造成膜面的厚度不均匀。
（6）水洗经过冷冻之后，析出了硝酸钾结晶如留在乳剂层中，会影响版子的透明度和反差，必须去除。水洗是将版子插入支版架上，然后在冷水（5~10PC）内拍打，以便去除硝酸钾结晶。
（7）抽干将干版放入真空烘箱内烘干，约4小时后，再在50~60°C下保温2小时，然后包装。
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李晓林 - 教授 - 西南大学