热丝化学气相沉积是指用灼热钨丝加热分解碳物质，激活化学气相反应，制备金刚石膜的工艺方法。这种方法的特点是设备简单，工艺条件较易控制，金刚石膜生长速率比化学输运法快，因而很快在全世界的金刚石膜研究中得到广泛应用，成为制备金刚石膜的主要方法之一。
简介热丝化学气相沉积是指用灼热钨丝加热分解碳物质，激活化学气相反应，制备金刚石膜的工艺方法。
优点这种方法的特点是设备简单，工艺条件较易控制，金刚石膜生长速率比化学输运法快，因而很快在全世界的金刚石膜研究中得到广泛应用，成为制备金刚石膜的主要方法之一。
缺点这种方法的缺点是钨丝在工作过程碳化变脆以致断裂，并给金刚石膜带来污染，这个问题尚难解决。另一个问题是活性粒子浓度较低，金刚石膜生长速率难以提高，并且对醛材表面要求也很严。
改进办法为了提高活性粒子浓度，在钨丝和基体间施加正的偏压，使钨丝在高温下发射出的电子在电场中加速，通过电子与气体原子的碰撞，增加活性粒子浓度。利用外加磁场造成电子回旋加速，进一步提高了活性粒子浓度，也能显著提高金刚石生长速率。
化学气相沉积金刚石的基本原理所谓化学气相沉积金刚石，可以概括为:将含碳气氛与过饱和的氢气混合，经过某种方式活化后通过衬底，在一定的气氛组成、 活化能量、衬底温度以及衬底与活化源之间的距离等条件下，在底表面沉积金刚石薄膜。一般认为， 金刚石膜的形核与生长可以分为三个阶段：
(1)含碳气体和氡气在一定 的温度下分解成碳、氢原子和其它活性游离基团，他们与基体结合先形成一层很薄的碳化物过渡层；
(2)碳原子在基体上形成的过渡层上沉积金刚石晶核；
(3)形成的金刚石晶核在适当的环境下长大成金刚石微品，继而长大成金刚石薄膜1。
本词条内容贡献者为:
邱学农 - 副教授 - 济南大学