氧化锌膜是指组成为氧化锌(ZnO) 的薄膜。它具有六角棱柱形纤锌矿晶格结构，室温下能隙宽度为3.3ev。
简介氧化锌膜是指组成为氧化锌(ZnO) 的薄膜。它具有六角棱柱形纤锌矿晶格结构，室温下能隙宽度为3. 3ev。
制取方法一般可用反应气相沉积方法制备，包括反应电子束蒸发或反应磁控溅射。大面积均匀氧化锌膜用化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相淀积(PCVD)或平面直流磁控溅射法制成1。
种类及用途不同工艺条件下制出的氧化锌膜具有不同的性能，主要有：
(1)氧化锌透明导电薄膜：在100-800nm的可见光范围内，透光率大于90%。在制备氧化锌薄膜的过程中掺入2%左右的氧化铝薄膜的每方块电阻可控制在100欧姆以下而且透光率不变。这类薄膜可广泛用于液晶显示器件和太阳能电池中，亦可制成光电探测器的窗口以及反射红外线的热镜等。
（2)氧化锌高阻压电膜：用平面直流磁控溅射制出的氧化锌厚膜(2-5um)，结晶性能良好，呈c轴取向，有显著的压电效应。可以制成氧化锌膜压敏传感器。
相关概念氧化锌是锌的一种氧化物。难溶于水，可溶于酸和强碱。氧化锌是一种常用的化学添加剂，广泛地应用于塑料、硅酸盐制品、合成橡胶、润滑油、油漆涂料、药膏、粘合剂、食品、电池、阻燃剂等产品的制作中。氧化锌的能带隙和激子束缚能较大，透明度高，有优异的常温发光性能，在半导体领域的液晶显示器、薄膜晶体管、发光二极管等产品中均有应用。此外，微颗粒的氧化锌作为一种纳米材料也开始在相关领域发挥作用。 氧化锌生产厂家主要集中在辽宁（大连）、山东（潍坊）、河北（高邑、邢台）、江苏、浙江等地，生产的氧化锌以99.7%含量的为主，俗称997（99.7）氧化锌。纳米氧化锌以其优异的纳米特性，增长迅速，应用领域也越来越广泛1。
本词条内容贡献者为:
邱学农 - 副教授 - 济南大学